產品設備與技術
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產品詳情
有效避免人員標籤誤貼，並透過SECS與 Host 溝通取得標籤內容正 確性，確保內部產品作業流程正常。
• 適用 8“（200mm）及12”（300mm）晶圓框架
• 8“& 12”機構自動切換
• 可讀取Bar code識別Wafer身分
• 貼標角度可360°調整
• 可依不同Lot ID設定相對應的Recipe
• 標籤讀取複檢系統
• UPH：60 pcs/hr
• For E84 SPEC
• For SECS/GEM SPEC
產品詳情
- 產品詳情
有效避免人員標籤誤貼，並透過SECS與 Host 溝通取得標籤內容正 確性，確保內部產品作業流程正常。
• 適用 8“（200mm）及12”（300mm）晶圓框架
• 8“& 12”機構自動切換
• 可讀取Bar code識別Wafer身分
• 貼標角度可360°調整
• 可依不同Lot ID設定相對應的Recipe
• 標籤讀取複檢系統
• UPH：60 pcs/hr
• For E84 SPEC
• For SECS/GEM SPEC